YASUHARA Toshiyuki | Tokyo Institute of Technology
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概要
関連著者
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YASUHARA Toshiyuki
Tokyo Institute of Technology
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百瀬 英明
東工大院
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大竹 尚登
東工大院
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加藤 和典
湘南工科大学工学部
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Ohtake Naoto
Nagoya Univ. Nagoya Jpn
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Murakami Hiroya
Tokyo Inst. Of Technol. Tokyo Jpn
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百瀬 英明
東京工業大学大学院
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加藤 和典
東工大院
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YASUHARA Toshiyuki
Tokyo Institute of Technology, Dept. of Mechanical Sci. and Eng.
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SAITO Masanori
Tokyo Institute of Technology, Dept. of Mechanical Sci. and Eng.
著作論文
- Tribological Properties of Amorphous Boron Nitride Films Prepared by Nanopulse Plasma CVD
- 108 rfマグネトロンスパッタ法によるB-C-N系薄膜の合成(OS 材料の超精密加工とマイクロ加工)