畑山 智亮 | 奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科
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概要
関連著者
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冬木 隆
奈良先端科学技術大学院大学
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畑山 智亮
奈良先端科学技術大学院大学
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矢野 裕司
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科
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矢野 裕司
奈良先端科学技術大学院大学
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冬木 隆
奈良先端科学技術大学院大
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畑山 智亮
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科
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安田 幸夫
名古屋大学大学院工学研究科結晶材料工学専攻:(現)高知工科大学総合研究所
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堀 良太
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科
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田村 哲也
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科
著作論文
- 塩素系ガスによるSiCのプラズマレス・エッチング(シリコン関連材料の作製と評価)
- POCl_3アニールによるSiC-MOSデバイスの高性能化(SiC-MOSゲートスタック技術の進展,ゲート絶縁薄膜,容量膜,機能膜及びメモリ技術)