HAYASHI T. | ULSI Device Dev. Labs., NEC Corp.

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概要

• 同名の論文著者
• ULSI Device Dev. Labs., NEC Corp.の論文著者

関連著者

• Eaglesham D.

  Lucent Technologies

• HAMADA K.

  ULSI Device Dev. Labs., NEC Corp.

• HAYASHI T.

  ULSI Device Dev. Labs., NEC Corp.

• POATE J.

  Lucent Technologies

• SAITO S.

  ULSI Device Dev. Labs., NEC Corp.

著作論文

• High Energy B Implantation for Fe Gettering ; Evaluation of 7.5nm Thick Gate Oxide Reliability

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