Nishimura E | Tokyo Electron Yamanashi Ltd.

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概要

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Tokyo Electron Yamanashi Ltd. | 論文

• Mass Spectrometry of Discharge Products at 13.56 MHz in SF_6 Gas ( Plasma Processing)
• Positive Ions in RF Discharge Plasmas of C_4F_8/Ar and C_4F_8/O_2 Mixtures
• Positive Ions in C_4F_8 RF Discharge in a Planar Diode
• Characteristics of Parallel-Plate RF Discharges in C_4F_8 Gas and C_4F_8/O_2 Mixtures
• Ionic Species in 13.56 MHz Discharges in CF_4 Gas and Mixtures of It with Ar and O_2

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