高柳 敦 | 株式会社京三製作所事業本部半導体機器事業部

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関連著者

• 高柳 敦

  株式会社京三製作所事業本部半導体機器事業部

• 高柳 敦

  株式会社 京三製作所

• TAKAYANAGI Atsushi

  Kyosan

• 譲原 逸男

  Kyosan Electric Mfg. Co. Ltd.

• 大間 亮介

  Kyosan Electric Mfg. Co. Ltd.

• 大間 亮介

  Kyosan Electric Mfg. Co., Ltd.

• 河村 篤男

  横浜国立大学

• 広瀬 裕己

  横浜国立大学

• 高田 浩一

  株式会社 京三製作所

• Takada Koichi

  Kyosan

• HIROSE Yuuki

  Yokohama National University

• KAWAMURA Atsuo

  Yokohama National University

• 高柳 敦

  Kyosan Electric Mfg. Co. Ltd.

• 岡野 毅

  株式会社京三製作所事業本部半導体機器事業部

• 譲原 逸男

  株式会社京三製作所事業本部半導体機器事業部

• 秦 佳久

  株式会社京三製作所事業本部半導体機器事業部

• 大間 亮介

  京三製作所

• 譲原 逸男

  京三製作所

• 高柳 敦

  京三製作所

• Kawamura Atsuo

  Yokohama National Univ.

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著作論文

• 次世代マッチングコントローラ用制御に関する研究
• A new robust control for the RF impedance matcher for plasma processing
• BS-6-1 低炭素化社会における三相交流電圧不平衡の問題点と三相PWMコンバータにおける一解決策の提案(BS-6.低炭素社会を担うパワーエレクトロニクス技術、および新素材・デバイスの応用技術,シンポジウムセッション)
• 配電系統を考慮したSiC搭載DC-DCコンバータ及びその制御回路 (電子通信エネルギー技術)
• 配電系統を考慮したSiC搭載DC-DCコンバータ及びその制御回路
• 配電系統を考慮したSiC搭載DC-DCコンバータ及びその制御回路(エネルギー技術,半導体変換技術,一般)

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