高柳 敦 | 株式会社 京三製作所
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概要
関連著者
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高柳 敦
株式会社 京三製作所
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TAKAYANAGI Atsushi
Kyosan
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高柳 敦
株式会社京三製作所事業本部半導体機器事業部
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譲原 逸男
Kyosan Electric Mfg. Co. Ltd.
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大間 亮介
Kyosan Electric Mfg. Co., Ltd.
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大間 亮介
Kyosan Electric Mfg. Co. Ltd.
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河村 篤男
横浜国立大学
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横浜国立大学
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株式会社 京三製作所
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Takada Koichi
Kyosan
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KAWAMURA Atsuo
Yokohama National University
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高柳 敦
Kyosan Electric Mfg. Co. Ltd.
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岡野 毅
株式会社京三製作所事業本部半導体機器事業部
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譲原 逸男
株式会社京三製作所事業本部半導体機器事業部
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秦 佳久
株式会社京三製作所事業本部半導体機器事業部
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大間 亮介
京三製作所
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譲原 逸男
京三製作所
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高柳 敦
京三製作所
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Kawamura Atsuo
Yokohama National Univ.
著作論文
- 次世代マッチングコントローラ用制御に関する研究
- A new robust control for the RF impedance matcher for plasma processing
- BS-6-1 低炭素化社会における三相交流電圧不平衡の問題点と三相PWMコンバータにおける一解決策の提案(BS-6.低炭素社会を担うパワーエレクトロニクス技術、および新素材・デバイスの応用技術,シンポジウムセッション)
- 配電系統を考慮したSiC搭載DC-DCコンバータ及びその制御回路
- 配電系統を考慮したSiC搭載DC-DCコンバータ及びその制御回路(エネルギー技術,半導体変換技術,一般)