田村 一二三 | 日立中央研究所

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概要

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  日立中研

• 泉 栄一

  日立那か工場

• 鹿又 一郎

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• 石谷 亨

  日立中央研究所

• 泉 栄一

  （株）日立製作所那珂工場

• 石谷 享

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• 鈴木 堅一

  新日鉄基礎研

• 柴田 淳

  日立那珂

• 山本 恵彦

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• 近藤 敏郎

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著作論文

• 二次イオン質量分析法(SIMS)によるOrchard　Leavesの定量分析
• IMAにおけるイオンモニタ法の開発とその応用
• 二次イオン放出の吸着による影響 : イオンマイクロアナライザ (I)
• 真空スパッタリング用イオン源とその応用
• 走査型電子顕微鏡とその応用

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