SELINGER T. | Mattson Technology Canada

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概要

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関連著者

• Severi S.

  Imec

• Ragnarsson L-a

  Imec

• BIESEMANS S.

  IMEC

• DE MEYER

  IMEC

• PAWLAK B.

  Philips Research Leuven

• DUFFY R.

  Philips Research Leuven

• KERNER C.

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• MCCOY S.

  Mattson Technology Canada

• GELPEY J.

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• SELINGER T.

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• ABSIL P.

  IMEC

• JURCZAK M.

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著作論文

• Integration of ultra shallow junctions in PVD TaN nMOS transistors with Flash Lamp Annealing

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