米田 昌弘 | 三菱電機 Ulsi技開セ

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概要

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• 三菱電機 Ulsi技開セの論文著者

三菱電機 Ulsi技開セ | 論文

• BSTキャパシタにおける成膜時及びポスト処理時酸化性の影響
• BSTキャパシタに対するポストアニールの影響
• 電極構造が高誘電体キャパシタの電気的特性に与える影響
• 酸素のその場ドーピングを行った白金電極上にスパッタ法で形成したBST薄膜キャパシタの電気的特性
• 酸素のその場ドーピングを行った白金電極上にスパッタ法で形成したBST薄膜キャパシタの電気的特性

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