塩山 忠義 | 大阪府工技研
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概要
関連著者
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塩山 忠義
大阪府工技研
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小川 倉一
大阪府立工業技術研究所
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滝口 勝美
大阪府立工業技術研究所
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塩山 忠義
大阪府立工業技術研究所電子部
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小川 倉一
大阪府工技研
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滝口 勝美
大阪府産業技術総研
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四谷 任
大阪府立工業技術研究所
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高橋 弓弦
大阪府立工業技術研究所
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長谷川 泰一
元大阪府立工業技術研究所
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塩山 忠義
大阪府立工業技術研究所
著作論文
- 窒素ガスプラズマ蒸着法による銅複合膜の選択吸収特性
- TaN薄膜真空度センサによる混合ガスの分圧測定
- イオンビ-ムスパッタで作製しタンタル薄膜の諸特性
- TaN薄膜を用いたピラニ型真空計の試作--TaN薄膜素子の電気的特性の真空度依存性
- イオンビ-ムスパッタ法によるTa薄膜の作製とその特性
- Taのイオンビ-ムスパッタリングにおける差動排気法を用いない残留ガス分析
- Ni薄膜素子を用いたピラニ型真空計の試作
- 黄銅基材上Cr蒸着膜の硬さ特性
- プラスチック加工温度測定用超小型Ni薄膜感温素子
- 窒化タンタル薄膜を用いた熱伝導型湿度センサの開発 (工業計測への新センサ素子の展望)
- TaN薄膜素子を用いたピラニ型真空計の感度特性
- TaN薄膜素子を用いたピラニ型真空計の試作
- TaN薄膜素子を用いたピラニ型真空計の形状効果とガス依存性
- 光電変換素子を用いたボート温度の測定