石谷 亨 | 日立ハイテクノロジーズ
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概要
関連著者
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石谷 亨
日立ハイテクノロジーズ
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小池 英巳
(株)日立ハイテクノロジーズ
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大西 毅
株式会社日立ハイテクノロジーズ
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上野 武夫
(株)日立サイエンスシステムズ
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上野 武夫
日立サイエンスシステム テクノリサーチラボ
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石谷 亨
日立製作所計測器グループ
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大西 毅
日立製作所計測器事業部ビームテクノロジーセンタ
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石谷 亨
日立製作所計測器事業部ビームテクノロジーセンタ
著作論文
- FIB試料の最近の進歩 (新手法--21世紀に向けて)
- 集束イオンビ-ム加工法で作製した材料の透過電子顕微鏡による観察 (電子・イオン技術を用いた表面観察・分析の新展開)
- 集束イオンビームを利用したマイクロマシニングとデバイス移植