田村 誠男 | 光技術研究開発(株)つくば研究所(光技研):(現)オングストロームテクノロシ研究機構

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概要

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関連著者

• 田村 誠男

  光技術研究開発(株)つくば研究所(光技研):(現)オングストロームテクノロシ研究機構

• 田村 誠男

  光技術研究開発株式会社つくば研究所

• 磯前 誠一

  日立製作所中央研究所

• 安藤 敏夫

  日立製作所デバイス開発センタ

• 近藤 香織

  日立製作所デバイス開発センター

• 杉野 雄史

  日立製作所甲府製造本部

• 斉藤 徹

  光技術研究開発株式会社つくば研究所

• 田村 誠男

  (株) 日立製作所中央研究所

著作論文

• 炭素イオン打込みによるゲッタリング
• 低速イオン散乱分光法による化合物半導体結晶成長のその場観察
• Siへのイオン打込みによる格子欠陥
• シリコン基板上ヘテロエピタキシースレディング転位の発生と伝播制御(格子不整合系のヘテロエピタキシー)

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