田村 誠男 | 光技術研究開発株式会社つくば研究所

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概要

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• 光技術研究開発株式会社つくば研究所の論文著者

関連著者

• 田村 誠男

  光技術研究開発株式会社つくば研究所

• 田村 誠男

  光技術研究開発(株)つくば研究所(光技研):(現)オングストロームテクノロシ研究機構

• 磯前 誠一

  日立製作所中央研究所

• 安藤 敏夫

  日立製作所デバイス開発センタ

• 近藤 香織

  日立製作所デバイス開発センター

• 杉野 雄史

  日立製作所甲府製造本部

• 斉藤 徹

  光技術研究開発株式会社つくば研究所

• 田村 誠男

  光技研つくば研究所

著作論文

• 炭素イオン打込みによるゲッタリング
• 低速イオン散乱分光法による化合物半導体結晶成長のその場観察
• 3p-C-3 超格子および高密度転位線を含む化合物半導体への重イオン照射効果

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