張 建軍 | 東京工業大学大学院理工学研究科附属像情報工学研究施設
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概要
関連著者
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半那 純一
東京工業大学 大学院理工学研究科 附属像情報工学研究施設
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張 建軍
東京工業大学大学院理工学研究科附属像情報工学研究施設
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清水 耕作
東京工業大学像情報工学研究施設
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半那 純一
東京工業大学大学院理工学研究科
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清水 耕作
東京工業大学大学院理工学研究科附属像情報工学研究施設
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半那 純一
東京工業大学 像情報工学研究所
著作論文
- 反応性熱CVD法による多結晶Si_Ge_x薄膜の低温堆積とTFTへの応用(低温または高温多結晶Siとアクティブマトリックス型ディスプレイ用薄膜トランジスタ論文特集)
- 反応性熱 CVD 法による多結晶 Si_Ge_X 薄膜の低温たい積と TFT への応用