益永 孝幸 | (株)東芝

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概要

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関連著者

• 益永 孝幸

  (株)東芝 生産技術センター 部品技術研究センター

• 益永 孝幸

  (株)東芝

• 磯貝 宏道

  東芝セラミックス(株)

• 小島 勝義

  東芝セラミックス(株)

• 西村 哲郎

  (株)東芝 重電技術研究所

• 西村 哲郎

  東芝 生産技セ

• 西村 哲郎

  (株)東芝 生産技術センター

• 西村 哲郎

  (株)東芝生産技術センター部品技術研究センター

• 中村 信子

  (株)東芝

• 三田 久美子

  東芝セラミックス(株)

• 神足 勝昭

  東芝セラミックス(株)

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著作論文

• 薄肉空間内を流動する樹脂の毛管流れ解析に関する研究
• 研磨布の粘弾性回復挙動がシリコンウエーハの外周ダレに与える影響:第3報研磨布粘弾性特性の数学モデル化手法
• 研磨布の粘弾性回復挙動がシリコンウェーハの外周ダレに与える影響 : 第4報 各種研磨布の特性評価
• 研磨布の粘弾性回復挙動がシリコンウエーハの外周ダレに与える影響:第2報粘弾性評価装置の開発と研磨布の評価
• ベアシリコンの研磨におけるナノトポグラフィー生成挙動の解析

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