磯貝 宏道 | 東芝セラミックス(株)
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概要
関連著者
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益永 孝幸
(株)東芝 生産技術センター 部品技術研究センター
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磯貝 宏道
東芝セラミックス(株)
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益永 孝幸
(株)東芝
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小島 勝義
東芝セラミックス(株)
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三田 久美子
東芝セラミックス(株)
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神足 勝昭
東芝セラミックス(株)
著作論文
- 研磨布の粘弾性回復挙動がシリコンウェーハの外周ダレに与える影響 : 第4報 各種研磨布の特性評価
- 研磨布の粘弾性回復挙動がシリコンウエーハの外周ダレに与える影響:第2報粘弾性評価装置の開発と研磨布の評価
- ベアシリコンの研磨におけるナノトポグラフィー生成挙動の解析