益永 孝幸 | (株)東芝 生産技術センター 部品技術研究センター
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概要
関連著者
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益永 孝幸
(株)東芝 生産技術センター 部品技術研究センター
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益永 孝幸
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著作論文
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- 研磨布の粘弾性回復挙動がシリコンウエーハの外周ダレに与える影響:第3報研磨布粘弾性特性の数学モデル化手法
- 研磨布の粘弾性回復挙動がシリコンウェーハの外周ダレに与える影響 : 第4報 各種研磨布の特性評価
- 研磨布の粘弾性回復挙動がシリコンウエーハの外周ダレに与える影響:第2報粘弾性評価装置の開発と研磨布の評価
- ベアシリコンの研磨におけるナノトポグラフィー生成挙動の解析