中村 信子 | (株)東芝

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概要

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関連著者

• 益永 孝幸

  (株)東芝 生産技術センター 部品技術研究センター

• 益永 孝幸

  (株)東芝

• 中村 信子

  (株)東芝

著作論文

• 研磨布の粘弾性回復挙動がシリコンウエーハの外周ダレに与える影響:第3報研磨布粘弾性特性の数学モデル化手法

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