木下 正治 | (株)東芝生産技術研究所
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概要
関連著者
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木下 正治
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(株)東芝
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大川 秀樹
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(株)東芝生産技術研究所
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石田 全寛
(株)東芝生産技術研究所
著作論文
- 機械的プラナリゼーション加工技術の現状と今後の課題(機械的プラナリゼーション技術)
- プラナリゼーションCMPプロセスとそれを実現する装置システムの方向
- 磁気ヘッドの電磁気特性におけるエッジ形状品質(edge の機能と評価・管理)