大谷 誠 | 三菱電機(株)材料研究所

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概要

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関連著者

• 大谷 誠

  三菱電機(株)材料研究所

• 大谷 誠

  三菱電機(株)中央研究所

• 藤原 賢三

  三菱電機(株)中研

• 金山 清

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• 大谷 誠

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• 南郷 重行

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• 中山 春夫

  三菱電機(株)北伊丹製作所

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著作論文

• 錫真正ホイスカ成長における鉛の抑制作用とホイスカ成長機構
• オージェ電子分光法による不純物の定量分析 : Si中のB, P, 及びAs, 並びにSiO2中のP
• オージェ電子分光法によるSi3N4膜中へのAlの拡散

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