島岡 健治 | 東北大学 未来科学技術共同研究センター

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概要

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関連著者

• 大見 忠弘

  東北大学未来科学技術共同研究センター

• 大見 忠弘

  東北大学 未来科学技術共同研究センター

• 森永 均

  東北大学 未来科学技術共同研究センター

• 島岡 健治

  東北大学 未来科学技術共同研究センター

著作論文

• シリコン表面マイクロラフネスの発生メカニズムと低減技術(ゲート絶縁膜,容量膜,機能膜及びメモリ技術)

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