金澤 孝明 | 東京大学生産技術研究所

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概要

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• 同名の論文著者
• 東京大学生産技術研究所の論文著者

関連著者

• 榎本 俊之

  大阪大学大学院工学研究科

• 金澤 孝明

  東京大学生産技術研究所

• 谷 泰弘

  東大生研

• 榎本 俊之

  (株)リコー生産技術研究所

• 榎本 俊之

  (株)リコー

• 金澤 孝明

  東大生研

• 服部 俊郎

  東京磁気印刷(株)

• 谷 泰弘

  東京大学生産技術研究所

• 榎本 俊之

  東京大学生産技術研究所

• 斉藤 克己

  東京磁気印刷(株)

• 柳原 聖

  東大生研

• 三村 升平

  東京磁気印刷(株)

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著作論文

• 超微細シリカ凝集砥粒を用いた研磨フィルムによるシリコンウェーハのエッジ仕上げ : 高生産性研磨フィルムの開発
• 超微細シリカ凝集砥粒を用いた研磨テープによるシリコンウェーハのエッジ研磨-加工条件の最適化-
• 超微細シリカ凝集砥粒を用いた研磨テープによるシリコンウェーハのエッジ研磨

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