中島 正晴 | 先生精機(株)

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概要

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関連著者

• 大塚 二郎

  静岡理工科大学

• 大塚 二郎

  静岡理工科大学理工学部機械工学科

• 先生 宗弘

  先生精機(株)

• 中島 正晴

  先生精機(株)

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• 大岩 孝彰

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• 先生 宗弘

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• 細谷 辰男

  静岡県浜松工業技術センター

• 北川 剛弘

  静岡県浜松工業技術センター

• 牧田 直己

  先生精機(株)

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著作論文

• 三次元座標比較測定機
• 203 粗微動切込みによる延性モード加工用の超精密鏡面研削盤の開発
• シリコンウエハ用超精密平面研削盤の開発 : 延性モード加工用の超精密切込み装置
• シリコンウエハ用超精密平面研削盤の開発 : 超低速切込みによる延性モード加工

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