Fukuda Naoki | Semiconductor Group Hitachi Ltd.

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概要

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• Semiconductor Group Hitachi Ltd.の論文著者

関連著者

• Fukuda Naoki

  Semiconductor Group Hitachi Ltd.

• ASANO Isamu

  ELPIDA MEMORY, Inc.

• NAKAMURA Yoshitaka

  ELPIDA MEMORY, Inc.

• AOKI Hideo

  Device Development Center, Hitachi Ltd.

• YAMADA Satoru

  ELPIDA MEMORY, Inc.

• SEKIGUCHI Toshihiro

  ELPIDA MEMORY, Inc.

• Asano Isamu

  Elpida Memory Inc.

• Sekiguchi Toshihiro

  Elpida Memory Inc.

• Yamada Satoru

  Elpida Memory Inc. Device Development Center Hitachi Ltd.

• Nakamura Yoshitaka

  Elpida Memory Inc.

• Aoki Hideo

  Device Development Center Hitachi Ltd.

• Yamada Satoru

  Elpida Memory Inc.

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著作論文

• A Thermally Robust Ti-Rich TiNx Contact Metallization Realizing and Interconnect System Suitable to 0.10-μm DRAMs and Beyond

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