久保田 清 | 日新電機株式会社技術開発研究所

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概要

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• 同名の論文著者
• 日新電機株式会社技術開発研究所の論文著者

関連著者

• 冬木 隆

  奈良先端科学技術大学院大学

• 高橋 英治

  日新電機株式会社

• 緒方 潔

  日新電機株式会社

• 冬木 隆

  奈良先端科学技術大学院大

• 浦岡 行治

  奈良先端科学技術大学院大

• 北島 浩司

  奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科

• 桐村 浩哉

  日新電機株式会社技術開発研究所

• 久保田 清

  日新電機株式会社技術開発研究所

• 岸田 茂明

  日新電機株式会社技術開発研究所

著作論文

• 水素ラジカル励起と高密度・低ポテンシャルプラズマを用いた低温ポリシリコン成膜技術 : 成長初期段階の結晶化シリコン成膜・評価技術(半導体Si及び関連材料・評価)

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