宇根 篤暢 | 日本電信電話(株)
スポンサーリンク
概要
関連著者
-
宇根 篤暢
日本電信電話(株)
-
宇根 篤暢
日本電信電話公社武蔵野電気通信研究所
-
河西 敏雄
日本電信電話公社茨城電気通信研究所
-
宇根 篤暢
日本電信電話(株) Lsi研究所
-
竹内 信行
日本電信電話(株)NTTマイクロシステムインテグレーション研究所
-
竹内 信行
日本電信電話(株)
-
猪城 真
日本電信電話(株)
-
上野 嘉之
日本電信電話公社武蔵野電気通信研究所:表面粗さの表示方式の標準化に関する調査委員会
-
大森 義市
大阪大学工学部
-
田中 義信
関西大学工学部
-
鳥居 康弘
日本電信電話(株)
-
木内 一秀
日本電信電話(株)
著作論文
- 回折格子による高精度位置合わせ法(第3報) : 単一・倍ピッチ2重回折格子法のプロセス適用性
- 回折格子による高精度位置合わせ法(第1報) : 単一・2重回折格子によるギャップ・位置検出
- 平面修正制御形ラップ・ポリシ機の試作
- ピッチポリシングにおける圧力分布の解析 : 遊離砥粒による平行平面加工 (第1報)
- めっき型磁気ディスク基板の加工変形 : めっきおよびラッピングによる残留応力と変形(第2報)
- 磁気ディスク用Al合金板の加工変形 : ラッピングによる残留応力と変形 (第1報)
- 鉄系焼結金属の材料特性と切削現象との相関性
- 修正リング形ポリシングにおける形状生成過程(第2報) : クロスポリシャによるSiウエハのポリシング
- 修正リング形ポリシングにおける形状生成過程(第1報) : 理論解析と平面制御
- SORリソグラフィ技術