甲斐 志直 | 防衛大学校

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概要

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関連著者

• 餅田 正秋

  防衛大学校 機械工学科

• 甲斐 志直

  防衛大学校

• 餅田 正秋

  防衛大

• 宇根 篤暢

  防衛大学校

• 餅田 正秋

  防衛大学校

• 宇根 篤暢

  防衛大

• 松井 伸介

  NTT境界領域研究所

• 石川 良征

  日本電信電話株式会社nttマイクロシステムインテグレーション研究所

• 松井 伸介

  Ntt フォトニクス研

• 大平 文和

  日本電信電話(株)通信エネルギー研究所

• 大平 文和

  Ntt境界領域研究所

• 松井 伸介

  日本電信電話株式会社NTTフォトニクス研究所

• 松井 伸介

  日本電信電話株式会社nttマイクロシステムインテグレーション研究所

• 松井 伸介

  日本電信電話(株)

• 宇根 篤暢

  防衛大学校 機械工学科

• 石川 良征

  日本電信電話(株)通信エネルギー研究所

• 大平 文和

  日本電信電話(株)ntt光エレクトロニクス研究所

• 松井 伸介

  NTT 光エレクトロニクス研究所

• 石川 良征

  NTT 光エレクトロニクス研究所

• 大平 文和

  日本電信電話(株)

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著作論文

• 真空ピンチャックの吸着特性(第3報) : ピン先端とウエハ裏面との接触
• 真空ピンチャックによる凹凸ウエハの矯正能力(第一報) : 理論解析
• シリコンウェハの平面矯正(第1報)-ピンチャックのウェハ周辺矯正能力-
• 真空ピンチャックによる平面矯正(第5報) -ピン先端とウエハ裏面の接触状態-

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