岡野 晴雄 | (株)東芝ULSI研究所

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• 岡野 晴雄

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• 岡野 晴雄

  (株)東芝

• 堀池 靖浩

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  東大院工

• 堀池 靖浩

  東芝超lsi研:現広大工

• 堀池 靖浩

  東洋大学工学部電気電子工学科

• 岡野 晴雄

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• 中田 錬平

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• 恩賀 伸二

  東芝研究開発センター先端半導体デバイス研究所

• 岡田 多佳子

  東芝研究開発センター先端半導体デバイス研究所

• 伊藤 仁

  (株)東芝研究開発センターlsi基盤技術ラボラトリー

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• 梶 成彦

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• 堀池 靖浩

  極端紫外線露光システム技術開発機構(euva)

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著作論文

• タングステンの化学的気相成長法
• 高アスペクト比構造の微細加工技術(次世代リソグラフィ技術)
• 各種ドライエッチング装置と加工特性 : 高速反応性イオンエッチング(半導体素子 : 材料とプロセス技術)
• 分子動力学を用いたプロセスシミュレーター

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