永田 一志 | 三菱電機株式会社ulsi開発研究所

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概要

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• 三菱電機株式会社ulsi開発研究所の論文著者

関連著者

• 永田 一志

  三菱電機株式会社ulsi開発研究所

• 河合 晃

  長岡技術科学大学工学部電気系

• 河合 晃

  長岡技術科学大学工学部

• 永田 一志

  三菱電機株式会社 先端技術総合研究所

• 永田 一志

  三菱電機(株)先端技術総合研究所

• 高田 雅介

  長岡技術科学大学電気系

• 高田 雅介

  長岡技科大

• 高田 雅介

  長岡技術科学大学

• 平山 誠

  三菱電機 ULSI開発研究所

• 平山 誠

  三菱電機株式会社ULSI開発研究所

• 平山 誠

  三菱電機ulsi開発研究所

• 三井 興太郎

  三菱電機株式会社光マイクロ波デバイス開発研究所

• 桧垣 孝志

  三菱電機株式会社ULSI開発研究所

• 立川 透

  三菱電機株式会社ULSI開発研究所

• 番條 敏信

  三菱電機株式会社ULSI開発研究所

• 永田 一志

  三菱電気株式会社ULSI研究所

• 河合 晃

  三菱電気株式会社ULSI研究所

• 河合 晃

  三菱電機(株)ULSI研究所

• 三井 興太郎

  三菱電機株式会社ulsi開発研究所

• 河合 晃

  Department of Electrical Engineering, Nagaoka University of Technology

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著作論文

• 兵庫県南部地震による半導体研究開発部門の被害と地震対策
• レジスト膜上のスピンオンガラス膜に発生する微細亀裂
• TMAH水溶液中でレジスト膜に発生した環境応力亀裂
• フォトレジスト膜の残留歪みと接着性に及ぼす溶剤の効果
• Al薄膜の表面粗さとレジスト微細パタ-ンの接着性
• 原子間力顕微鏡を用いた無機材料とポリマー間の接着強度の測定法
• 有機スピンオンガラス上でのフォトレジストの濡れ不良
• レジスト微細パタ-ン内の熱応力分布と接着特性

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