中嶋 定夫 | Nttシステムエレクトロニクス研究所

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概要

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• 同名の論文著者
• Nttシステムエレクトロニクス研究所の論文著者

関連著者

• 中嶋 定夫

  Nttシステムエレクトロニクス研究所

• 永瀬 雅夫

  NTT基礎研究所

• 永瀬 雅夫

  Ntt物性科学基礎研究所

• 国井 秦夫

  NTT基礎研究所

• 泉 勝俊

  NTTシステムエレクトロニクス研究所

• 国井 泰夫

  NTTLSI研究所

• 国井 秦夫

  Ntt物性科学基礎研究所

• 永瀬 雅夫

  Ntt 物性科学基礎研

著作論文

• 高温水素雰囲気中のSIM0X基板表面平坦化過程
• SIMOX基板形成技術 (イオン注入による素子分離技術--SIMOX技術)
• 100mA級大電流酸素イオン注入装置の開発 (イオン注入による素子分離技術--SIMOX技術)

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