今井 正人 | 株式会社 スーパーシリコン研究所

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概要

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関連著者

• 今井 正人

  株式会社 スーパーシリコン研究所

• 進藤 大輔

  東北大学素材工学研究所

• 池松 陽一

  新日本製鐵(株)先端技術研究所

• 池松 陽一

  東北大学素材工学研究所

• 村上 恭和

  東北大学素材工学研究所

• 高田 清司

  スーパーシリコン研究所

• 高田 清司

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• 大橋 嘉公

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• 今井 正人

  株式会社スーパーシリコン研究所

• 黛 雅典

  (株)スーパーシリコン研究所

• 今井 正人

  (株)スーパーシリコン研究所

• 中原 信司

  (株)スーパーシリコン研究所

• 井上 和俊

  (株)スーパーシリコン研究所

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著作論文

• 400mmシリコンウェーハとエピタキシャル成長
• ナノエリア解析システムによる Si エピタキシャル層の結晶性評価
• 保護酸化, 水素終端したシリコンの水素中加熱処理による表面清浄化とエピタキシャル成長

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