保護酸化, 水素終端したシリコンの水素中加熱処理による表面清浄化とエピタキシャル成長
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概要
著者
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今井 正人
株式会社 スーパーシリコン研究所
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黛 雅典
(株)スーパーシリコン研究所
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今井 正人
(株)スーパーシリコン研究所
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中原 信司
(株)スーパーシリコン研究所
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井上 和俊
(株)スーパーシリコン研究所