高田 清司 | スーパーシリコン研究所
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概要
関連著者
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高田 清司
スーパーシリコン研究所
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奥山 繁樹
防衛大学校
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高田 清司
信越半導体(株)
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今井 正人
株式会社 スーパーシリコン研究所
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高田 清司
株式会社 スーパーシリコン研究所
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高田 清司
(株)スーパーシリコン研究所
著作論文
- 400mmシリコンウェーハとエピタキシャル成長
- 次世代大口径単結晶Si基板の研削と研磨技術
- スーパーシリコン研究所におけるφ400mm大口径シリコンウェーハの開発 : 官民共同開発コンソーシアムの意義 : 招待講演
- シリコン基板の超大口径化への挑戦(精密工学の最前線)
- ドイツからは目が離せない