池田 聡 | 沖電気工業(株)超lsi研究開発センタ

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概要

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• 同名の論文著者
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関連著者

• 池田 聡

  沖電気工業(株)超lsi研究開発センタ

• 内田 英次

  沖電気工業(株)超LSI研究開発センタ

• 冨永 之廣

  プロセス技術センタ

• 平下 紀夫

  沖電気工業(株)超LSI研究開発センタ

• 平下 紀夫

  沖電気工業株式会社超lsi研究セソタ

• 平下 紀夫

  沖電気工業 (株) 超LSI開発センタ

• 冨永 之廣

  沖電気工業プロセス技術一部

• 錨 英人

  沖電気工業(株)プロセス技術センタ

著作論文

• 薄いゲート酸化膜の絶縁耐圧に及ぼす有機汚染の影響
• シリコンウエハーの薄い酸化膜の絶縁耐圧に及ぼす有機汚染の影響

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