小林 伸好 | 日立製作所中央研究所

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概要

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関連著者

• 小林 伸好

  日立製作所中央研究所

• 小林 伸好

  (株)日立製作所デバイス開発センタ

• 入江 亮太郎

  日立製作所中央研究所

• 小林 伸好

  (株)日立製作所半導体事業部半導体技術開発センタ

• 丸泉 琢也

  日立製作所 基礎研究所

• 加藤 聖隆

  (株)日立製作所半導体事業部半導体技術開発センタ

• 池川 正人

  (株)目立製作所機械研究所

• 小林 伸好

  日立製作所. デバイス開発センタ

• 山口 憲

  (株)日立製作所中央研究所

• 山口 憲

  アドバンスソフト株式会社技術第1部

• 牛尾 二郎

  (株)日立製作所 中央研究所

• 山口 憲

  日立製作所中央研究所

• 牛尾 二郎

  日立製作所中央研究所

• 竹村 佳昭

  日立製作所中央研究所

• 池川 正人

  日立製作所機械研究所

• 入江 亮太郎

  (株)日立製作所中央研究所 電子デバイス研究部

• 中西 成彦

  (株)日立製作所半導体事業部半導体技術開発センタ

• 竹村 佳昭

  日立製作所基礎研究所

• 斉藤 政良

  (株)日立製作所半導体事業部半導体技術開発センタ

• 平沢 賢斉

  (株)日立製作所半導体事業部半導体技術開発センタ

• 高松 朗

  (株)日立製作所半導体事業部半導体技術開発センタ

• 牛尾 二郎

  (株)日立製作所基礎研究所

• 丸泉 琢也

  武蔵工業大学工学部電気電子工学科

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著作論文

• 分子シミュレーションに基づくW-CVDプロセス解析
• 金属クラスター表面における分子の解離吸着反応のダイナミック・シミュレーション
• 有機成分制御によるSOG平坦化特性の改善
• 低圧HF/H_2OべーパープロセスにおけるSiO_2エッチング機構解析

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