劉 紫園 | NECエレクトロニクス評価技術開発事業部
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概要
関連著者
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藤枝 信次
日本電気株式会社デバイスプラットフォーム研究所
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藤枝 信次
「応用物理」編集委員会
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藤枝 信次
Ecシリコノシステム研究所
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藤枝 信次
日本電気(株)システムデバイス研究所
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藤枝 信次
日本電気株式会社システムデバイス研究所
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劉 紫園
NECエレクトロニクス評価技術開発事業部
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劉 紫園
Necエレクトロニクス
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藤枝 信次
NECシリコンシステム研究所
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寺島 浩一
NECシリコンシステム研究所
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福谷 克之
東京大学生産技術研究所
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WILDE Marukus
東京大学生産技術研究所
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Wilde Markus
東京大学生産技術研究所
著作論文
- 2.2 SiO_2/Si中水素のLSI長期信頼性への影響(セッション2「故障解析・デバイス(1)」)(第16回信頼性シンポジウム発表報文集)
- 2-2 SiO_2/Si 中水素の LSI 長期信頼性への影響
- 共鳴核反応法で見るSiO_2/Si界面近傍の水素の挙動