紀川 健 | 株式会社日立製作所中央研究所

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概要

• 同名の論文著者
• 株式会社日立製作所中央研究所の論文著者

関連著者

• 内山 博幸

  (株)日立製作所 中央研究所

• 谷口 隆文

  (株)日立製作所中央研究所

• 内山 博幸

  株式会社日立製作所中央研究所

• 谷口 隆文

  株式会社日立製作所中央研究所

• 紀川 健

  日立製作所 中央研究所

• 紀川 健

  株式会社日立製作所中央研究所

著作論文

• フッ素系プラズマによる損傷とその回復に関する検討(電子デバイスの信頼性と半導体表面・界面制御・評価)
• フッ素系プラズマによる損傷とその回復に関する検討(電子デバイスの信頼性と半導体表面・界面制御・評価)
• XPSによるドライエッチング損傷機構の検討(化合物半導体デバイスのプロセス技術)

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