加藤 博臣 | Faculty Of Engineering Tokyo Polytechnic University

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概要

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• 同名の論文著者
• Faculty Of Engineering Tokyo Polytechnic Universityの論文著者

関連著者

• 星 陽一

  東京工芸大学工学部

• 加藤 博臣

  Faculty of Engineering, Tokyo Polytechnic University

• 加藤 博臣

  Faculty Of Engineering Tokyo Polytechnic University

• 星 陽一

  東京工芸大学工学部システム電子情報学科

• 加藤 博臣

  東京工芸大学工学部電子情報工学科

• 星 陽一

  東京工芸大学 工学部 システム情報学科

• 船津 健太郎

  東京工芸大学工学部

• 船津 健太郎

  Faculty of Engineering, Tokyo Polytechnic University

• 星 陽一

  Faculty of Engineering, Tokyo Polytechnic University

著作論文

• ITOスパッタ膜堆積時の基板加熱の抑制
• ITO透明導電膜の低温成膜における水蒸気の効果(電子材料)
• ITOスパッタ膜堆積中の基板入射熱量とその抑制法(薄膜プロセス・材料,一般)
• スパッタ法によるフィルム基板上への透明導電膜の作製(電子部品・材料, 及び一般)
• ITO透明導電膜の低温成膜における水蒸気の効果
• 対向ターゲット式スパッタ法によるITO透明導電膜の低温高速成膜

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