曽根 和穂 | 原研
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概要
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(株)アルバック 技術開発部
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日本真空技術(株)技術開発部
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日本真空技術(株)
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小宮 宗治
日本真空技術(株)
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塚越 修
日本真空技術(株)
著作論文
- 12a-J-3 ブリスタリングにおよぼすターゲット表面の形状効果
- 12a-J-2 100keVヘリウムイオン衝撃によるMo表面のブリスタリング
- 7a-T-9 水素およびヘリウムビーム衝撃による黒鉛表面の侵食
- 6p-D-12 低エネルギープロトン(0.1〜6KeV)によるMo,Cのスパッタリング収率