寺内 均 | 阪大工
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概要
関連著者
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寺内 均
阪大工
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井村 健
阪大工
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平木 昭夫
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佐藤 守
大阪工業技術試験所
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阪大・工
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大工試
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大阪工技試
著作論文
- 30a-F-7 TEMによるSi:H合金の観察
- 4a-NL-12 SEM・TEMによる希ガス原子を含むa-Siのmorphologyの観察
- 2a-W-23 Xeを用いたスパッタ法によるa-Si膜の作製