堀辺 英夫 | 三菱電機(株)先端技術総合研究所

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概要

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  三菱電機(株)先端技術総合研究所

• 堀優 英夫

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• 熊田 輝彦

  三菱電機(株)先端技術総合研究所

• 熊田 輝度

  三菱電機 先端技総研

• 久保田 繁

  東洋高砂乾電池株式会社

• 木村 良佳

  三菱電機(株)ULSI開発研究所

• 久保田 繁

  三菱電機(株)先端技術総合研究所

• 馬場 文明

  三菱電機(株) 先端技術総合研究所 環境・分析評価技術部

• 藤野 毅

  三菱電機(株) ULSI研究所

• 藤野 毅

  三菱電機(株)ulsi開発研究所

• 馬場 文明

  三菱電機(株)

• 馬場 文明

  三菱電機(株)開発本部(先端技術総合研究所駐在)

• 信時 英治

  三菱電機(株)先端技術総合研究所

• 熊田 輝度

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• 熊田 輝彦

  三菱電気(株)先端技術総合研究所

• 馬場 文明

  三菱電機(株) 材料デバイス研究所

• 信時 英治

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著作論文

• 化学増幅系3成分ポジ型電子線レジストにおけるレジスト高感度化
• 化学増幅ポジ型3成分系電子線レジストの設計と開発
• ポリフッ化ビニリデン/ポリメタクリル酸メチルブレンドの熱処理後の紫外線透過率とポリフッ化ビニリデンの結晶構造との関係
• 化学増幅系3成分ポジ型レジストの溶解抑制剤による未露光部の溶解速度低下に関する研究
• 化学増幅系3成分ポジ型レジストのカルボン酸系溶解抑制剤による検討
• 化学増幅系3成分ポジ型レジストのべース樹脂とレジスト特性との関係
• 化学増幅系3成分ポジ型レジストのフェノール系溶解抑制剤による検討
• 化学増幅型3成分レジストにおける溶解抑制剤のレジスト溶解性への影響

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