堀邊 英夫 | 三菱電機(株)先端技術総合研究所

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• 熊田 輝彦

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• 久保田 繁

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  三菱電機 先端技総研

• 久保田 繁

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• 馬場 文明

  三菱電機(株) 先端技術総合研究所 環境・分析評価技術部

• 馬場 文明

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• 信時 英治

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• 木村 良佳

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著作論文

• 化学増幅系3成分ポジ型電子線レジストにおけるレジスト高感度化
• ポリフッ化ビニリデン/ポリメタクリル酸メチルブレンドの熱処理後の紫外線透過率とポリフッ化ビニリデンの結晶構造との関係
• 化学増幅系3成分ポジ型レジストの溶解抑制剤による未露光部の溶解速度低下に関する研究
• 化学増幅系3成分ポジ型レジストのカルボン酸系溶解抑制剤による検討
• 化学増幅系3成分ポジ型レジストのフェノール系溶解抑制剤による検討
• 化学増幅型3成分レジストにおける溶解抑制剤のレジスト溶解性への影響

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