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大崎 明彦 | 三菱電機 Ulsi技開セ
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三菱電機 Ulsi技開セ | 論文
BSTキャパシタにおける成膜時及びポスト処理時酸化性の影響
BSTキャパシタに対するポストアニールの影響
電極構造が高誘電体キャパシタの電気的特性に与える影響
酸素のその場ドーピングを行った白金電極上にスパッタ法で形成したBST薄膜キャパシタの電気的特性
酸素のその場ドーピングを行った白金電極上にスパッタ法で形成したBST薄膜キャパシタの電気的特性
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