薛 光洙 | 早稲田大学
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概要
関連著者
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大木 義路
早稲田大学 先進理工学研究科 電気・情報生命専攻
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大木 義路
早稲田大学
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薛 光洙
早稲田大学
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石井 啓介
早稲田大学
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西川 宏之
芝浦工大 工
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西川 宏之
東京都立大学工学部
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西川 宏之
東京都立大学
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加藤 宙光
産業技術総合研究所
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小池 英巳
早稲田大学
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二見 毅
早稲田大学
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加藤 宙光
早稲田大
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加藤 宙光
産総研エネルギー技術
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加藤 宙光
早稲田大学
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増沢 晃
早稲田大学
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里 秀文
早稲田大学
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薛 光洙
理化学研究所
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野間 崇
三洋電機
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加藤 宙光
(独)産業技術総合研究所エネルギー技術研究部門:CREST c/o 産総研
著作論文
- 内部酸化がSIMOX埋め込み酸化膜の酸素欠乏性と絶縁破壊電界に及ぼす影響
- PECVD堆積シリコン酸化窒化膜の電気特性
- 発光減衰曲線の解析によるSiO_2の微視的構造の乱雑さの評価
- シリコン酸化膜中の点欠陥の新しい検出法