三河 康宏 | 中部大学工学部
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概要
関連著者
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稲熊 淳一
中部大学工学部
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三河 康宏
中部大学工学部
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永津 雅章
静岡大 創造科学技術大学院
著作論文
- VHF帯軸対称表面波を用いた大面積プラズマの基礎特性
- 有限要素法を用いた新しい表面波プラズマ源の電磁界分布とその大面積化
- VHF帯軸対称表面波による新しいプラズマ源
- 電子ビーム励起塩素、酸素プラズマの分光および Q-Mass 測定