藤井 基之 | 中部大
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概要
関連著者
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宮野 竜一
静岡大学工学部
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藤井 基之
中部大
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宮野 竜一
中部大
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中部大工
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池沢 俊治郎
中部大・工
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北田 良二
中部大
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泉 真也
中部大
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岡本 幸雄
東洋大学理工学部電気電子情報工学科
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静岡大学
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中部大学
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中部大学工学部
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中部大学工学部
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泉 真也
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藤井 基之
中部大学
著作論文
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- VHF帯軸対称表面波による新しいプラズマ源
- 電子ビーム励起プラズマを用いたイオンプレーティング法による窒化チタン膜の生成
- 電子ビーム励起プラズマを用いたエッチングプロセスにおける異方性の制御
- 電子ビーム励起塩素、酸素プラズマの分光および Q-Mass 測定
- EBEP装置における電子エネルギー分布とシース電圧
- 電子ビーム励起プラズマ装置によって生成したN_2プラズマの質量スペクトル分析