宮野 竜一 | 中部大
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概要
関連著者
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宮野 竜一
静岡大学工学部
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宮野 竜一
中部大
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池沢 俊治郎
中部大工
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藤井 基之
中部大
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池沢 俊治郎
中部大・工
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池沢 俊治郎
中部大
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岡本 幸雄
東洋大学理工学部電気電子情報工学科
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神藤 正士
静岡大学
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西脇 彰
中部大学
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白木 裕章
中部大学工学部
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稲熊 淳一
中部大学工学部
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三河 康宏
中部大学工学部
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貴田 桂介
中部大学工学部
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西脇 彰
中部大学工学部
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野中 繁彦
豊田工業大学
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貴田 桂介
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北田 良二
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中部大
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名古屋大学
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中部大学工学部
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中部大学工学部
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中部大学工学部
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池澤 俊治郎
中部大
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馬場 清英
中部大
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六鹿 太詞
中部大
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吉岡 敏太郎
中部大
著作論文
- 有限要素法を用いた新しい表面波プラズマ源の電磁界分布とその大面積化
- VHF帯軸対称表面波による新しいプラズマ源の基礎特性
- VHF帯軸対称表面波による新しいプラズマ源
- 電子ビーム励起プラズマを用いたイオンプレーティング法による窒化チタン膜の生成
- 電子ビーム励起プラズマを用いたエッチングプロセスにおける異方性の制御
- 電子ビーム励起塩素、酸素プラズマの分光および Q-Mass 測定
- EBEP装置における電子エネルギー分布とシース電圧