松岡 茂登 | Ntt光エレクトロニクス研究所

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関連著者

• 松岡 茂登

  Ntt光エレクトロニクス研究所

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• 田中 雅慶

  九大総理工

• 小森 彰夫

  九大総理工

• 河合 良信

  九大総理工

• Kawai Yoshinobu

  Welding Research Institute Osaka University

• Komori A

  National Inst. Fusion Sciences Nagoya‐shi Jpn

• 玉置 誠

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• 河合 良信

  Kyushu Univ. Fukuoka

• 東野 俊一

  日本電信電話株式会社nttフォトニクス研究所

• 東野 俊一

  NTT光エレクトロニクス研究所

• 小森 章夫

  核融合科学研究所

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著作論文

• 25a-D-4 波動モードとプラズマ生成
• 3p-R-2 電子サイクロトロン波を用いた高密度プラズマの生成 : 斜め入射
• 電界ミラ-型高速ECRスパッタ成膜技術
• 高速スパッタ型ECRプラズマ成膜技術の汎用化--導電性膜の高速形成技術
• スパッタ型ECRマイクロ波プラズマの特徴と薄膜形成への応用
• ErドープSi膜のIBE成長と発光特性

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