ErドープSi膜のIBE成長と発光特性
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
電界ミラースパッタ型金属イオン源を用いた超高真空イオンビームエピタキシー(UHV-IBE)により、ErドープSi膜を成長した。Er濃度は、Siイオン源から引き出されるイオンを利用してEr ペレットをスパッタすることにより1×10^<16>cm^<-3>から6×10^<20>cm^<-3>の範囲で制御できた。Erの表面偏析は酸素の共ドープによって抑制され、Erの膜中への取り込み率が大きく上昇することが分かった。得られた薄膜のPLスペクトルはEr^<+3>イオンの内殻(4f)準位を反映して明確にスプリットしたものであった。また、発光ダイオードを作成し、電流注入によるシャープな発光を実現できた。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-11-08
著者
関連論文
- 並列光インタコネクションモジュール用ポリマー光導波路部品
- B-10-128 SOAの自動利得/損失制御のよる広入力ダイナミックレンジ光プリアンプ
- KTN結晶導波路を用いた高速光スイッチ(光部品・電子デバイス実装技術, 一般)
- 射出成形による高精度プラスチックフェルールの作製 : 三次元樹脂流動解析による成形シミュレーションと検証
- C-3-28 KTN 結晶導波路を用いた低電圧駆動 2 X 2 電気光学スイッチ
- KTN結晶導波路を用いた高速光スイッチ(光部品・電子デバイス実装技術, 一般)
- KTN結晶導波路を用いた高速光スイッチ(光部品・電子デバイス実装技術, 一般)
- KTN結晶導波路を用いた高速光スイッチ(光部品・電子デバイス実装技術, 一般)
- 樹脂封止レーザモジュールの信頼性
- 液晶高分子プラスチックフェルールのPC接続条件の検討
- 簡易MUレセプタクル用プラスチックフェルールの光接続特性と信頼性
- 簡易MUレセプタクル用プラスチックフェルールの光接続特性と信頼性
- C-3-121 POF 用 MU 形プラスチックフェルールの検討
- MU/SC変換アダプタ用プラスチック割りスリーブの光接続特性と信頼性
- C-3-126 MU簡易プラスチックプラグの開発
- MU/SC変換用プラスチック割りスリーブの検討
- C-3-88 MU形プラスチックフェルールの信頼性
- C-3-87 MU/SC変換用プラスチック割りスリーブの検討
- EMD2000-17 シングルモード用プラスチックフェルールのPC接続条件の検討
- SC形光コネクタ用プラスチックフェルールの信頼性
- SC形光コネクタ用プラスチックフェルールの信頼性
- MU形プラスチックフェルールの開発
- プラスチックフェルールのPC接続条件の検討
- シングルモード用プラスチックフェルールの耐環境信頼性
- SC-3-8 樹脂パッケージを用いたPLC部品/光ファイバ無調心接続技術 : MUレセプタクル型PLC光送受信モジュールの作製
- プラスチック部品のシングルモード光実装への適用性検討
- 単一モード光接続用プラスチック割りスリーブの特性
- 単一モード光接続用プラスチック割りスリーブの特性
- 単一モード光接続用プラスチック割りスリーブの特性
- 単一モード光接続用プラスチック割りスリーブの特性
- プラスチックV溝部品を用いたシングルモード光実装の検討
- 射出成形によるプラスチック割りスリーブの検討(2)
- プラスチックプラットフォームによるポリマー導波路フィルムへのファイバ実装
- 光コネクタ用プラスチックフェルールの開発
- 射出成形による通信用光学部品の作製(進化する射出成形技術)
- シングルモード用プラスチックフェルールの耐環境信頼性
- SC-5-6 並列光インタコネクション(ParaBIT)モジュール用光結合部品 : 構造簡略化および耐熱性向上の検討
- C-3-93 UV硬化型エポキシ樹脂を用いた導波路フィルム
- 並列光インタコネクションモジュール用多チャンネル光インタフェース構成技術
- 並列光インタコネクションモジュール用ポリマー光導波路部品
- 並列光インタコネクション(ParaBIT)モジュール用光結合部品 : BFコネクタインタフェースへの樹脂V溝部品の適用
- 25a-D-4 波動モードとプラズマ生成
- 3p-R-2 電子サイクロトロン波を用いた高密度プラズマの生成 : 斜め入射
- シングルモード用プラスチックフェルールの耐環境信頼性
- シングルモード用プラスチックフェルールの耐環境信頼性
- C-3-64 シングルモード光コネクタ用プラスチックフェルールの光学接続特性 (2)
- C-3-63 プラスチック割りスリーブのAngled PC光コネクタへの適用
- C-3-62 光コネクタ用プラスチック精密光部品
- 光コネクタ用プラスチック割りスリーブ (特集 光通信デバイスに期待されるプラスチック技術(1))
- 射出成形によるシングルモード用プラスチックフェルールの作製
- 射出成形によるシングルモード用プラスチックフェルールの作製
- 光コネクタ用プラスチック割りスリーブの寿命推定
- シングルモード光コネクタ用プラスチックフェルールの光学接続特性
- シングルモード光コネクタ用プラスチックフェルールの高精度形状制御
- 半導体レーザモジュール用封止樹脂の諸特性
- 射出成形によるプラスチック割りスリーブの検討
- 光モジュール封止樹脂の材料特性
- 光モジュール封止樹脂の光学特性
- 電界ミラ-型高速ECRスパッタ成膜技術
- 高速スパッタ型ECRプラズマ成膜技術の汎用化--導電性膜の高速形成技術
- スパッタ型ECRマイクロ波プラズマの特徴と薄膜形成への応用
- ErドープSi膜のIBE成長と発光特性
- 光ファイバー通信の発展を支えている光部品
- セラミックスレビュー 光ファイバー通信の発展を支えている光部品
- 光ボード実装用ファイバマネジメント技術 (特集 単一モード用光ボード実装技術)