前田 直宏 | 福井高専

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概要

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関連著者

• 柴田 明

  福井工業高等専門学校

• 沖村 邦雄

  東海大学電子工学科

• 前田 直宏

  福井高専

• 沖村 邦雄

  Tokai Univ. Kanagawa Jpn

• 沖村 邦雄

  福井高専

• 柴田 明

  福井高専

• 土田 耕三

  福井県工業技術センター

• 前田 直宏

  福井工業高等専門学校

• 沖村 邦雄

  福井工業高等専門学校

• 土田 耕三

  福井県工技セ

• 佐治 栄治

  福井県工業技術センター

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著作論文

• Tetraethoxysilaneを用いたプラズマCVD法における気相分解過程
• Tetraethoxysilaneを用いたプラズマCVD法によって堆積したSiO_2膜の膜中不純物
• Tetraethyl Orthosilicate/N_2Oプラズマ化学蒸着によるSiO_2堆積過程の発光分光分析
• Al-Ar混合気体放電のプラズマパラメータとペニング効果

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